真空爐是于二十世紀(jì)四十年代發(fā)展起來(lái)的重要的工業(yè)加熱設(shè)備，廣泛應(yīng)用于鈦、鋯、鎢、鉬、鈮等活性金屬、難熔金屬及其合金、鋁箔、電工純鐵、軟磁合金、銅管帶等金屬材料的無(wú)氧化光亮退火；高速工具鋼、模具鋼的光亮淬火；不銹鋼、鈦、鋁、銅、硬質(zhì)合金、高溫合金、陶瓷等同種材料或異種材料之間的無(wú)釬劑真空釬焊；硬質(zhì)合金、稀土永磁材料釹鐵硼等粉末冶金材料的真空燒結(jié)；電子管、真空開(kāi)關(guān)、不銹鋼保溫容器的真空排氣與封接等等。在航空、航天、船舶、車輛、機(jī)械、電子、石化、工具、材料、家電等行業(yè)正日益發(fā)揮越來(lái)越大的作用。
　　編制真空爐使用維護(hù)操作規(guī)程，建立此爐運(yùn)行記錄和修理檔案，統(tǒng)計(jì)運(yùn)行累積工作時(shí)間，加強(qiáng)此爐日常維護(hù)，掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢(shì)，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的維修，并根據(jù)此爐工作負(fù)荷和運(yùn)行狀況，提前有針對(duì)性地準(zhǔn)備此爐修理用零部件，編制此爐運(yùn)行維護(hù)方案。如此爐加熱元件的使用壽命長(zhǎng)短與工作溫度、爐內(nèi)產(chǎn)品介質(zhì)、產(chǎn)品數(shù)量及操作情況等許多因素有關(guān)，在每天24小時(shí)加工生產(chǎn)的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每?jī)扇赀M(jìn)行一次．這取決于釬焊工作的類型和使用次數(shù)。此爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長(zhǎng)期閑置的此爐在才次使用時(shí)真空爐泄漏故障比較易發(fā)生。這時(shí)間就必須進(jìn)行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測(cè)壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個(gè)數(shù)，1h后再讀一個(gè)數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設(shè)備泄漏變化趨勢(shì)，如真空設(shè)備連續(xù)停機(jī)一個(gè)禮拜，要空運(yùn)轉(zhuǎn)一次（進(jìn)行烘爐）。

　　在真空系統(tǒng)檢漏時(shí)，除臨時(shí)應(yīng)急維修用真空泥糊堵外，有氦質(zhì)譜檢漏儀可用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行真空檢漏，如沒(méi)氦質(zhì)譜檢漏儀可用醫(yī)用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點(diǎn)處，觀察真空表讀數(shù)有無(wú)變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進(jìn)行檢漏。找到漏點(diǎn)以后進(jìn)行維修（一般密封圈老化比較多），定時(shí)檢查此爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴(kuò)散泵油，如發(fā)現(xiàn)油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個(gè)泵油，應(yīng)每周檢查一次油位和油的質(zhì)量。擴(kuò)散泵油油擴(kuò)散泵有積炭可用化學(xué)酸洗的方法清洗。